肇庆防潮性强石碣真空镀膜公司

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-04-20 5:46:12 * 浏览: 2

纳米石碣真空电镀基于离子镀沉积速度快,镀材广泛,绕射性好,镀层质密,附着性好等特点,其应用日趋广泛,将来有可能代替湿式石碣电镀离子镀应用领域见表10-14。。

石碣表面处理已利用这种靶成功制取了Ta-Ti合金、(Tb-Dy)-Fe以及Gb-Co合金膜,其中以扇形结构效果z*好    按薄膜功能分类,溅射膜可为分电气、磁学、光学、机械、化学和装饰等几大类,见表10-11。。

石碣五金烤漆日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置该装置的真空室(6)分为上室(7),左下室(8)和右下室(9)。蒸镀时,两组蒸发源(19、23)蒸发的镀膜材料(21、25)分别沉积在塑料薄膜(11)上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器(、16)。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。该装置示意图见图1图1改进的卷绕式蒸镀装置近年来,高速低温溅射法发展很快,使高熔点金属如铬、钛、钨、钼等的沉积成膜成为可能。镀膜室直径1400mm,高2200mm的大型钟罩式溅射镀膜机和长mm,宽7.6mm的大型串列式溅射镀膜机已投入使用。最近,日本专利提出一种卷绕式溅射镀膜机,该机可镀两种不向的镀膜材料,并在溅射区和第二溅射区之间装温度控制装置(),加强对基材的冷却,保证在镀膜层较厚和沉积速度较快的情况下,基材不会发生卷缩和变形。该装置示意图见图1。真空室(1)装有溅射靶(4a4b)和阳极(14a14b),两个靶分别与直流电源(5a5b)相接,对塑料薄膜(8)进行溅射。辊筒(11a11b11c))有各自的冷却温度。

石碣PVD电镀  表10-7给出了适于蒸发各种元素的蒸发源材料。

石碣五金电镀对于表面光洁的塑料板材和形状不复杂的制品,可以用本研究技术代替石碣电镀铬,使生产工序简化,水和电的消耗显著减少,可节省铜和镍等金属资源,同时实现了镀铬的清洁生产    4结语    (1)光固化有机涂层与真空镀层的复合是一种应用广泛的复合石碣表面处理技术。(2)真空镀铬对光固化底涂层提出了更高的要求:足够的耐热性和耐辐照性,与基材及石碣真空镀膜层有良好的结合力,不能相互发生化学反应,具有良好的流平性等。脂环族环氧树脂改性丙烯酸酯涂料基本上达到这些要求,从而为真空镀铬以及需要采用离子镀和磁控溅射的石碣真空镀膜创造了基本条件。(3)光固化有机涂层与真空镀铬复合,加上钛氧化物膜的保护,形成了一种新的镀铬技术,其性能显著优于真空镀铝,而与传统的石碣电镀铬相比较,则具有环保、节能、节水、节材、简化工序、降低成本以及性能更优的特点,值得大力推广。。

各种蒸发器材料所适用的蒸发金属(膜材),其匹配性见表10-5。

当压力变化值在0.5h内不超过5%时,取测量表读数z*高值为极限压力值,且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态    (3)抽气时间的测定    ①试验条件:同极限压力测定的试验条件之a、b、c、d。    ②测试方法:设备在连续抽气条件下,在镀膜室内达到极限压力之后,打开镀膜室15min,再关闭镀膜室对其再度抽气至表10-31中所规定的压力值所需的时间,定为该设备的抽气时间。    (4)升压率测定    ①试验条件:同极限压力测定。    ②测试方法:设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的z*低压力之后,关闭与镀膜室相连接的真空阀,待镀膜室压力上升至P1(1Pa)时,开始计时,经1h后记p2,然后按下式计算升压率:。

    ①被吸到阴极表面的金属离子形成空间电荷层由此产生强电场使阴极表面上功函数小的点(晶界或微裂纹)开始发射电子。    ②个别发射电子密度高的点产生高密度的电流,该电流产生的焦耳热使该点温度上升而进一步发射热电子。这种反馈作用使电流局部集中。    ③由于电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料在此局部产生爆发性的等离子化而发射电子和离子,然后留下放电痕。同时放出熔融的阴极材料粒子。    ④发射的离子中的一部分被吸回阴极表面再次形成空间电荷层,产生强电场,又使新的功函数小的点开始发射电子。    这个过程反复进行,弧光辉点在阴极表面上激烈地、无规则地运动。弧光辉点过后,在阴极表面上留下分散的放电痕。研究结果表明,阴极辉点的数量一般与电流成正比增加,因此可以认为每一个辉点的电流是常数,并随阴极材料的不同而异,见表10-13。    上述阴极辉点极小,有关资料测定为1mu,m~100mu,m。

为了使膜层均匀,各坩埚线圈功率均可单独调节    这种蒸发源的特点是:    ①蒸发速率大。在铝淀积厚度为40nm时,卷绕速度可达270m/min,比电阻热源大10倍左右。    ②蒸发源温度均匀稳定,不易产生铝滴飞溅现象。可避免铝滴淀积在薄膜上产生针孔现象。所以采用感应加热方法生产金银丝的成品率亦相应提高。    ③蒸发源一次装料,无需送丝机构,温度控制比较容易,操作比较简单。    ④对膜材纯度要求低。一般真空感应加热用99.9%纯度的铝,而电阻加热要求铝的纯度为99.99%。所以生产成本亦可降低。    (2)感应加热式蒸发源的结构    日本真空株式会社(ULVAC)生产的EW系列卷绕式高石碣真空镀膜机中用的感应加热式蒸发源结构,如图10-8所示。

图10-9给出的是从一个小平面s到与s平面相平行的基片上的蒸发情况。